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一种具有分裂耦合栅结构的p-GaN HEMT器件制造技术
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下载一种具有分裂耦合栅结构的p-GaN HEMT器件的技术资料
文档序号:44036384
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本发明涉及一种具有分裂耦合栅结构的p‑GaN HEMT器件,属于半导体器件技术领域。该器件包括:衬底;形成于衬底表面的缓冲层;形成于缓冲层表面的沟道层;形成于沟道层表面的势垒层;形成于势垒层表面的源极电极和漏极电极;形成于势垒层表面且位于源...
该专利属于重庆邮电大学所有,仅供学习研究参考,未经过重庆邮电大学授权不得商用。
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