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用化学反应生成质粒的装置和方法制造方法及图纸
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下载用化学反应生成质粒的装置和方法的技术资料
文档序号:4398014
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一种由辐射束引起气相化学反应而产生质粒,尤其是纳米质粒装置。辐射束包括电磁辐射或激光束。该装置包括一反应室(102)和一导入辐射的窗(242)和狭长的一反应物入口(164)。所说的反应室结构与狭长反应物入口相一致,可在反应物气流两侧引入保护...
该专利属于美商纳克公司所有,仅供学习研究参考,未经过美商纳克公司授权不得商用。
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