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本发明涉及用于超声检查的系统、方法和设备。描述了耦合器和卡盘。卡盘被构造成在晶片经历检查过程时固定物品。卡盘具有多个真空区域。一些真空区域将晶片保持在适当位置，而其它真空区域从晶片的边缘表面抽吸耦合剂。耦合器用于检查晶片的表面和次表面的缺陷...
该专利属于SONIX公司所有，仅供学习研究参考，未经过SONIX公司授权不得商用。

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