下载一种建立低温CMOS集约模型的方法的技术资料

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本发明公开了一种建立低温CMOS集约模型的方法,所述建立方法包括:设计多个低温测试样品,低温测试样品的尺寸覆盖工艺边界的各个尺寸;依次选择同一尺寸下的多个测试样品进行变温测试,确定标准测试芯粒、全局失配芯粒和低温局部失配芯粒;对标准测试芯粒...
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