下载发光二极管外延片及其制备方法的技术资料

文档序号:43869959

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本发明涉及半导体技术领域,具体公开一种发光二极管外延片及其制备方法,外延片包括衬底及外延层,外延层包括有源层、电子阻挡层及P型层,有源层与电子阻挡层之间设有空穴注入层,空穴注入层包括沿外延方向依次沉积的第一超晶格层、镁碳共掺杂GaN复合层及...
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