下载基于奇异点的高灵敏压力传感器和压力信息获取方法的技术资料

文档序号:43861963

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本申请涉及一种基于奇异点的高灵敏压力传感器和压力信息获取方法。所述传感器包括:衬底、耦合谐振器、刚度调节电极和外部反馈控制电路,其中,耦合谐振器置于衬底上;耦合谐振器包括增益谐振器和损耗谐振器;增益谐振器和损耗谐振器通过静电耦合增益谐振器和...
该专利属于中国南方电网有限责任公司所有,仅供学习研究参考,未经过中国南方电网有限责任公司授权不得商用。

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