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本发明涉及一种双层晶圆目检倾斜台及其控制方法,所属晶圆检测设备技术领域,包括操作台,所述的操作台上设有目检倾斜台,所述的目检倾斜台上部设有良品包装盒,所述的目检倾斜台下部设有待检包装盒,所述的目检倾斜台一侧设有磁吸笔,所述的磁吸笔与操作台间...该专利属于杭州中欣晶圆半导体股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过杭州中欣晶圆半导体股份有限公司授权不得商用。
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本发明涉及一种双层晶圆目检倾斜台及其控制方法,所属晶圆检测设备技术领域,包括操作台,所述的操作台上设有目检倾斜台,所述的目检倾斜台上部设有良品包装盒,所述的目检倾斜台下部设有待检包装盒,所述的目检倾斜台一侧设有磁吸笔,所述的磁吸笔与操作台间...