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本发明公开了一种阻抗匹配装置，应用于半导体工艺设备，并连接在射频功率发生器与反应腔之间，包括一匹配网络，所述匹配网络包括：第一电容调整模块，连接于射频功率发生器与地之间，用于赋予匹配网络一个具有大范围调整能力的第一容值；第二电容调整模块，与...
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