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本发明公开了一种碳化硅单晶的制备方法，包括以下步骤：（1）在石墨坩埚中设置弹簧，弹簧上设置有用于支撑碳化硅粉料的载体，碳化硅粉末与石墨坩埚顶部的籽晶相对；（2）将碳化硅粉料放置于载体上，然后将石墨坩埚放置于电感炉中，此时碳化硅粉末的最上方位...
该专利属于山西烁科晶体有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过山西烁科晶体有限公司授权不得商用。

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