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本技术公开了一种水平气流SiC外延设备石英钟罩内壁清洁工具，包括手持杆和清洗头，手持杆的一端与清洗头连接，清洗头的外侧面设有中间环形凹槽和两个侧环形凹槽，中间环形凹槽位于两个侧环形凹槽之间，中间环形凹槽内间隔设有多个真空吸气孔，两个侧环形凹...
该专利属于广东天域半导体股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过广东天域半导体股份有限公司授权不得商用。

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