下载一种基于纳米裂纹的水声传感器及其制备方法的技术资料

文档序号:43814042

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本发明提供一种基于纳米裂纹的水声传感器及其制备方法,属于水听器技术领域。该方法首先,采在柔性聚合物表面沉积一层金属薄膜,在柔性聚合物上金属薄膜表面旋涂一层光刻胶,将光刻胶和金属薄膜图案化;其次,对金属薄膜上的光刻胶再次进行图案化;再次,对柔...
该专利属于大连理工大学所有,仅供学习研究参考,未经过大连理工大学授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。