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一种基于纳米裂纹的水声传感器及其制备方法技术
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文档序号:43814042
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本发明提供一种基于纳米裂纹的水声传感器及其制备方法,属于水听器技术领域。该方法首先,采在柔性聚合物表面沉积一层金属薄膜,在柔性聚合物上金属薄膜表面旋涂一层光刻胶,将光刻胶和金属薄膜图案化;其次,对金属薄膜上的光刻胶再次进行图案化;再次,对柔...
该专利属于大连理工大学所有,仅供学习研究参考,未经过大连理工大学授权不得商用。
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