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一种基于悬臂梁结构的硅三维声子晶体制造技术
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文档序号:43777013
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本发明公开了一种基于悬臂梁结构的硅三维声子晶体,由周期性阵列的声子晶体原胞组成,所述原胞采用单一材料硅,以质量单元为中心,单点或多点连接悬臂梁结构的方式构成,悬臂梁以同样的间隙螺旋式环绕质量单元。本发明提供的硅三维声子晶体,可作为声子晶体原...
该专利属于南京理工大学所有,仅供学习研究参考,未经过南京理工大学授权不得商用。
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