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本发明涉及光电探测器,具体提供一种半导体光电探测器芯片及制备方法,旨在解决读出电路芯片和探测器芯片对准难度高的问题。本发明提供的半导体光电探测器芯片的制备方法包括:提供探测器晶圆,包括探测器衬底、第一接触层和第二接触层;提供读出电路晶圆,具...该专利属于成都燧石蓉创光电技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过成都燧石蓉创光电技术有限公司授权不得商用。
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本发明涉及光电探测器,具体提供一种半导体光电探测器芯片及制备方法,旨在解决读出电路芯片和探测器芯片对准难度高的问题。本发明提供的半导体光电探测器芯片的制备方法包括:提供探测器晶圆,包括探测器衬底、第一接触层和第二接触层;提供读出电路晶圆,具...