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本技术涉及一种便于更换靶材的装置，包括腔体、载片台和靶材组件，载片台和靶材组件均位于腔体内；靶材组件的底部沿着X轴方向安装有若干个活动导向组件，活动导向组件可在下方的固定导向组件上沿着X轴方向移动；当靶材组件沿着X轴的正方向移出腔体时活动导...
该专利属于湖州市鹑火光电有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过湖州市鹑火光电有限公司授权不得商用。

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