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本发明涉及晶棒制备设备技术领域，尤其涉及一种具备装卸功能的晶棒运输装置及运输方法，该具备装卸功能的晶棒运输装置中设有放置构件及装卸构件，放置构件用于放置需要运输的晶棒，装卸构件包括竖直调整组件、水平调整组件及夹具组件，竖直调整组件的固定端可...
该专利属于宁夏中欣晶圆半导体科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过宁夏中欣晶圆半导体科技有限公司授权不得商用。

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