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本发明涉及一种基于幂函数的电子背散射噪声建模标定方法，首先对地面模拟空间环境装置和待测材料进行简化建模，然后通过幂函数以平均分布随机数和等间隔的方式选取预标定点位，使用蒙特卡洛方法对预标定点位进行选定能量的吸收剂量仿真，最后通过比较筛选确定...
该专利属于北京微电子技术研究所所有，仅供学习研究参考，未经过北京微电子技术研究所授权不得商用。

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