下载一种p-GaN HEMT器件及制备方法的技术资料

文档序号:43743326

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本发明提供一种p‑GaN HEMT器件及制备方法,衬底层;设于衬底层上的缓冲层,缓冲层的远离衬底层的一侧面设有P型掺杂区;设于缓冲层上的沟道层,沟道层与P型掺杂区接触;设于沟道层上的势垒层、源极以及漏极,源极与漏极设于势垒层的两侧;设于势垒...
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