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本发明涉及半导体技术领域，提供了一种晶圆退火装置及退火方法，晶圆退火装置包括：灯珠单元、承载单元以及激光单元；所述灯珠单元包括多个密集排布的灯珠，各所述灯珠划分为若干个灯珠组，各所述灯珠组独立控制；所述承载单元用于承载晶圆，所述承载单元平行...
该专利属于重庆芯联微电子有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过重庆芯联微电子有限公司授权不得商用。

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