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本发明涉及化学机械抛光技术领域，尤其涉及一种抛光液及其制备方法，按照重量份数计，抛光液包括如下组分：硅溶胶600‑850份；金属螯合剂2‑6份；pH调节剂3‑7份；表面活性剂0.01‑0.10份；有机胺1‑10份；去离子水125‑380份；...该专利属于江苏山水半导体科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江苏山水半导体科技有限公司授权不得商用。
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本发明涉及化学机械抛光技术领域，尤其涉及一种抛光液及其制备方法，按照重量份数计，抛光液包括如下组分：硅溶胶600‑850份；金属螯合剂2‑6份；pH调节剂3‑7份；表面活性剂0.01‑0.10份；有机胺1‑10份；去离子水125‑380份；...