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本申请实施例公开了一种抛光终点检测方法、装置、电子设备及存储介质，应用于化学机械抛光设备，该化学机械抛光设备包括驱动电机及抛光盘，驱动电机用于驱动抛光盘旋转，该方法包括：在对晶圆进行化学机械抛光的过程中，采集驱动电机驱动抛光盘旋转预设圈数对...
该专利属于江苏元夫半导体科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江苏元夫半导体科技有限公司授权不得商用。

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