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本发明公开了一种工艺腔的动态配置方法，S1：建立ECS系统架构；S2：建立硬件描述文件；S3：基于硬件描述文件建立若干子硬件描述文件，每个子硬件描述文件用于定义一种工艺腔的配置方案；S4：匹配工艺腔与传输腔；S5：用户判断添加了位置配置结果...
该专利属于大连皓宇电子科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过大连皓宇电子科技有限公司授权不得商用。

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