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常闭式微机械惯性电学开关制造技术
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下载常闭式微机械惯性电学开关的技术资料
文档序号:4365465
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本发明公开了一种微机电工程技术领域的常闭式微机械惯性电学开关,包括:绝缘衬底、连体蛇形弹簧、支撑层、固定接触电极、弹簧支撑座、质量块电极以及弹簧间连体,其中:固定接触电极和支撑层都位于绝缘衬底上;质量块电极位于固定接触电极的上方,与固定接触...
该专利属于上海交通大学所有,仅供学习研究参考,未经过上海交通大学授权不得商用。
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