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本发明公开了一种太阳能板钝化控制工艺及其设备，其中太阳能板钝化控制工艺包括如下钝化步骤：先将需要钝化的太阳能板置于反应箱内，向反应箱内先通入三甲基铝，通完三甲基铝后，再继续向反应箱内通入臭氧进行反应；反应指定时间后，对反应箱内进行抽真空；抽...
该专利属于中润新能源（徐州）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中润新能源（徐州）有限公司授权不得商用。

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