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提出了一种提供用于沉积设备的稳定连接器的方法。该方法可以包括在陶瓷材料内部形成圆顶形电极连接器，钻出一部分陶瓷材料以及一部分圆顶形电极连接器以使电极连接器平整；并且将杆结合到电极连接器的剩余部分中。该方法将提供稳定的电极连接器，该电极连接器...
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