下载承载装置和线切割装置的技术资料

文档序号:43590939

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本技术涉及一种承载装置和线切割装置。承载装置包括晶托和至少一个清洁板。晶托具有朝向线切割装置的切割线的承载面,承载面用于直接或间接固定连接待切割件。清洁板直接或间接固定连接于晶托;清洁板处于切割线的行进路径上,以在随待切割件相对切割线进给的...
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