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本发明实现了使探针的振动长时间稳定化的振动装置。一种振动装置(1)，其使悬臂支承的探针振动，其具备：探针(2)；夹持并支承探针(2)的2个固定部件(3、4)；以及对2个固定部件(3、4)中的至少一方施加振动的振动产生部(5)，在探针(2)被...
该专利属于国立大学法人大阪大学所有，仅供学习研究参考，未经过国立大学法人大阪大学授权不得商用。

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