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一种图像传感器像素结构及其形成方法,其中结构包括:半导体衬底;位于半导体衬底内的感光层;位于半导体衬底内且位于感光层上的隔离层;位于半导体衬底内的第一栅极结构,第一栅极结构延伸至感光层内;位于半导体衬底内且位于隔离层上的存储层;位于半导体衬...该专利属于中芯国际集成电路制造(北京)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过中芯国际集成电路制造(北京)有限公司授权不得商用。
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一种图像传感器像素结构及其形成方法,其中结构包括:半导体衬底;位于半导体衬底内的感光层;位于半导体衬底内且位于感光层上的隔离层;位于半导体衬底内的第一栅极结构,第一栅极结构延伸至感光层内;位于半导体衬底内且位于隔离层上的存储层;位于半导体衬...