温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

一种电容器及其形成方法，其中，形成方法包括：提供衬底；刻蚀所述衬底，形成包括有源区的基底以及位于有源区上的若干分立的有源部；在所述有源部侧壁表面和基底表面形成第一绝缘层；在各所述有源部两侧侧壁形成第一极板，所述第一极板位于第一绝缘层表面，所...
该专利属于中芯国际集成电路制造(北京)有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中芯国际集成电路制造(北京)有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。