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一种非制冷红外探测器及其制造方法，包括：在晶圆上涂布聚酰亚胺并进行固化，完成聚酰亚胺牺牲层的制备；在包含聚酰亚胺牺牲层的晶圆上沉积第一介质层并涂布第一光阻层进行光刻、显影以及烘烤形成切割道区域的待刻蚀区域以及数据区域的待刻蚀区域；涂布第二光...
该专利属于上海新微技术研发中心有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海新微技术研发中心有限公司授权不得商用。

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