温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明提供提高作业员在基片处理装置的维护作业时的安全性的基片处理装置、维护方法和存储介质。基片处理装置对基片进行处理，包括：壳体，其具有收纳上述基片的处理所使用装置的收纳空间；开闭器，其切换上述收纳空间的打开状态和关闭状态；检测部，其设置在...
该专利属于东京毅力科创株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过东京毅力科创株式会社授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。