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提供基板搬运机器人、基板搬运系统以及基板搬运方法，实现搬运作业的稳定化。本公开的一个方面的基板搬运机器人具备支承基板的手部和使手部动作的臂。手部具有：吸附部，其通过吸附来保持基板的背面，并能够以上端的高度位置变低的方式伸缩；摩擦保持部，其在...
该专利属于株式会社安川电机所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社安川电机授权不得商用。

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