下载一种膜厚测量仪及测量方法的技术资料

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本申请提供了一种膜厚测量仪及测量方法,膜厚测量仪包括载物台、探头模块、探头驱动模块和控制器;探头模块包括光源模块和光电转换模块,光电转换模块将待测膜反射的光信号转换为电信号;探头模块设置在探头驱动模块上,探头驱动模块设置有驱动器;控制器根据...
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