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本发明公开了一种薄膜热流传感器及其制备方法，薄膜热流传感器包括热障层盖板、热电偶堆、基底和信号输出引针；所述基底和信号输出引针通过高温烧结进行整合；所述热电偶堆设置于所述基底表面；所述热障层盖板粘接在所述热电偶堆的表面；所述热障层盖板包括盖...
该专利属于中国电子科技集团公司第四十八研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国电子科技集团公司第四十八研究所授权不得商用。

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