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本申请的实施例提供了半导体器件及其形成方法。在一个实施例中,半导体器件包括:包括第一半导体材料的下部半导体纳米结构;邻近下部半导体纳米结构的下部外延源极/漏极区,下部外延源极/漏极区具有第一导电类型;包括第二半导体材料的上部半导体纳米结构,...该专利属于台湾积体电路制造股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过台湾积体电路制造股份有限公司授权不得商用。
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