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本发明公开了一种具有双光栅结构的量子阱红外偏振探测器及其制备方法，该探测器芯片包括基板，铟柱，带有线光栅结构的量子阱探测器和集成的金属线偏振光栅，量子阱偏振探测器与基板之间通过铟柱互连，这种偏振探测器的特征在于它的像元具有集成的双光栅结构。...
该专利属于中国科学院上海技术物理研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院上海技术物理研究所授权不得商用。

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