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本发明公开了一种炉管，其内部设有放置载具的反应腔，所述炉管的顶部或底部设有多个与所述反应腔相通的进气口，所述进气口远离所述反应腔的一端连接有进气装置；所述进气口位于所述反应腔的另一端连接有匀流装置，所述匀流装置包括环形喷淋进气管和/或喷淋进...
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