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本技术公开了一种气驱式超高压水泵，包括：进气装置、进水装置、气液增压泵、缓冲装置、压力调节装置、反馈装置和输出装置；通过进气装置和进水装置提供稳定的压缩空气和稳定的超纯水作为气液增压泵的气源和水源；使用气液增压泵将超纯水的压力增压到高于预设...
该专利属于西安晟光硅研半导体科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过西安晟光硅研半导体科技有限公司授权不得商用。

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