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本发明公开了一种基片对齐装置及其对齐方法，属于键合技术领域，应用于具有上压块和下压块的键合设备，对齐装置包括升降组件、分隔组件以及对齐组件；升降组件包括相对于机架固定连接的升降机构以及固定在升降机构的输出端的升降导杆，下压块开设有供升降导杆...
该专利属于上海磊尚智能科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海磊尚智能科技有限公司授权不得商用。

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