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具有熔丝与电阻器的半导体元件结构的制备方法技术
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下载具有熔丝与电阻器的半导体元件结构的制备方法的技术资料
文档序号:43266644
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本公开提供一种半导体元件结构的制备方法。该制备方法包括:形成一隔离结构在一半导体基底中;凹陷该半导体基底以形成一第一开口以及一第二开口,其中该第一开口与该第二开口位在该隔离结构的相对两侧,且该第二开口的一宽度大于该第一开口的一宽度;形成一电...
该专利属于南亚科技股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过南亚科技股份有限公司授权不得商用。
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