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本申请提供了一种晶圆校准定位的系统、方法、电子设备及存储介质，该方法包括：载物台，用于承载机械手臂放置的晶圆；数据模块，用于从多个方向采集与晶圆之间的间隔距离，并将间隔距离发送给控制模块；控制模块，用于根据间隔距离控制执行机构对晶圆和载物台...
该专利属于北京京仪自动化装备技术股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京京仪自动化装备技术股份有限公司授权不得商用。

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