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使用液态有机金属前体沉积陶瓷层制造技术
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下载使用液态有机金属前体沉积陶瓷层的技术资料
文档序号:43235943
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金属或陶瓷层可以通过使用非卤化液体有机金属前体的化学气相沉积而沉积在核材料上。所述化学气相沉积通过包括以下步骤的方法执行:将核燃料颗粒引入流化床反应器,将流化床反应器加热至所需操作温度T1。启动载气流过蒸发器,然后将非卤化液体有机金属前体注...
该专利属于埃克斯能量有限责任公司所有,仅供学习研究参考,未经过埃克斯能量有限责任公司授权不得商用。
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