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一种宽光谱散射与成像融合式套刻误差测量装置及方法，宽光谱光源发出的光，经过光束准直系统、滤波器、偏振器、光斑整形模块后，通过第一分光棱镜反射后进入显微物镜，经显微物镜聚焦后照射到套刻测量标记上产生的反射光和衍射光，又通过显微物镜被收集，一路...
该专利属于南京先进激光技术研究院所有，仅供学习研究参考，未经过南京先进激光技术研究院授权不得商用。

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