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本发明公开了CeLYSO多晶粉体制作生长设备及方法,涉及提拉法炉领域,该种CeLYSO多晶粉体制作生长设备及方法通过设置侧挡板组件和同步翻转组件,使得多个侧挡板在晶棒下料过程中能够反转成防护姿态将晶棒围住,从而能够在保证晶棒具有较快的下放速...该专利属于安徽科瑞思创晶体材料有限责任公司所有,仅供学习研究参考,未经过安徽科瑞思创晶体材料有限责任公司授权不得商用。
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本发明公开了CeLYSO多晶粉体制作生长设备及方法,涉及提拉法炉领域,该种CeLYSO多晶粉体制作生长设备及方法通过设置侧挡板组件和同步翻转组件,使得多个侧挡板在晶棒下料过程中能够反转成防护姿态将晶棒围住,从而能够在保证晶棒具有较快的下放速...