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本发明提供了一种基于数字孪生的半球形结构陀螺仪CMP抛光修正装置。包括：抛光腔，其内设置有置物台；转动机构，设置在置物台上，用于控制固定在转动机构上的被抛光物体进行转动；抛光机构，包括磨石，磨石用于抛光被抛光物体，抛光机构上设置有进液口，进...
该专利属于武汉大学所有，仅供学习研究参考，未经过武汉大学授权不得商用。

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