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本申请提供了一种异质结太阳能电池硅衬底及其制备方法、异质结太阳能电池和光伏系统。制备方法包括：对硅衬底进行双面制绒或双面抛光，得到一次处理的硅衬底；在所述一次处理的硅衬底的一侧面上依次沉积氧化硅层、硼硅玻璃层，形成氧化硅层‑硼硅玻璃层叠层掩...
该专利属于天合光能股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过天合光能股份有限公司授权不得商用。

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