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本技术涉及半导体技术领域，具体涉及一种用于制备棒状硅基材料的化学气相沉积装置，包括炉筒、底盘、设置于底盘上的进气口和出气口、设置于底盘上的电极，炉筒内设置有载体，所述载体通过石墨连接件与电极连接，还包括设置于底盘上的隔热导流部件。本技术通过...
该专利属于洛阳中硅高科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过洛阳中硅高科技有限公司授权不得商用。

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