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本发明提供一种前照式图像传感器的实现方法,包括:在栅极形成之前,刻蚀半导体衬底形成第一深沟槽,及由所述第一深沟槽间隔的半导体岛状结构;于所述第一深沟槽中形成所述图像传感器像素单元之间的隔离结构。本发明可以不受到光电二极管深度的限制实现深层纵...该专利属于格科微电子(上海)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过格科微电子(上海)有限公司授权不得商用。
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本发明提供一种前照式图像传感器的实现方法,包括:在栅极形成之前,刻蚀半导体衬底形成第一深沟槽,及由所述第一深沟槽间隔的半导体岛状结构;于所述第一深沟槽中形成所述图像传感器像素单元之间的隔离结构。本发明可以不受到光电二极管深度的限制实现深层纵...