下载压电薄膜滤波器的技术资料

文档序号:43094499

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本申请公开了一种压电薄膜滤波器。该压电薄膜滤波器具有并联谐振器和串联谐振器,并包括:构成并联谐振器的并联空腔和构成串联谐振器的串联空腔;在衬底中构成并联谐振器的并联衬底部分上形成的并联下电极;在衬底中构成串联谐振器的串联衬底部分上形成的串联...
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