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本发明公开了一种薄膜层厚度测量方法及测量装置。测量方法包括提供一校准样品；控制光发射模块向校准样品的多个第一设定位置处发射设定入射光，并获取校准样品反射设定入射光的第一反射光信号，以及记录光发射模块向每一第一设定位置发射设定入射光时的第一位...
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