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本发明为高流量环形拖动复合分子泵解决已有复合盘拖分子泵结构复杂，成本高，抽气槽的当量通道长度较短，对分子量较小的气体的压缩比低的问题。高流量环形拖动复合分子泵，其特征在于泵体（１）内沿主轴的轴向从进气口到排气口依次串联有涡轮组件、牵引组件，...
该专利属于成都南光机器有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过成都南光机器有限公司授权不得商用。

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